close
Серия вакуумных установок для обработки стекла LEYBOLD OPTICS DIS V

Серия вакуумных установок для обработки стекла LEYBOLD OPTICS DIS V – производительные системы для вертикального поточного напыления с нагреванием

- высокая производственная гибкость
- малая занимаемая площадь
- простота обслуживания

Серия LEYBOLD OPTICS DIS V

Серия LEYBOLD OPTICS DIS V – поточные напылительные системы с вертикальной организацией напыления. Они разработаны специально для применения в чистых помещениях, где важно минимизировать воздействие частиц. Уникальная конструкция с изгибом, при которой загрузка и выгрузка подложек производится с одной стороны, а обработка – с двух сторон, гарантирует эффективность в условиях чистых помещений и уменьшение занимаемой площади. Возможна обработка подложек размером до Gen 10, активное нагревание подложки до 350 °C. При необходимости можно создать конфигурацию системы с полностью бесконтактной системой транспортировки. Серия LEYBOLD OPTICS DIS V предназначена для любых процессов нанесения прозрачных проводящих оксидов и диэлектриков. Высокая гибкость благодаря изменяемой компоновке и мощному нагреву
  • Конфигурация системы изменяется в соответствии с конкретными задачами клиента, позволяя обрабатывать подложки размером до Gen 10.
  • Установки серии LEYBOLD OPTICS DIS V нагревают подложки до 350 °C, обеспечивая обработку широкого диапазона продукции.
  • Доступны плоские поворотные катоды для прозрачных проводящих оксидов и диэлектриков, что дает возможность обрабатывать различные изделия в одной установке.

Вращающийся модуль экономит площадь
Двухсторонний рабочий процесс с вращающимся модулем из нержавеющей стали уменьшает занимаемую площадь и позволяет использовать систему в чистых помещениях.

Продуманная конструкция катода для быстрого и простого обслуживания

  • Поворотные катоды делают обслуживание быстрым и простым. Для вскрытия катодов подъемный кран не требуется.
  • Возможность проведения обслуживания параллельно на всех катодах.

О подразделении Leybold Optics компании Бюлер

В начале 2012 года компания Leybold Optics GmbH присоединилась к швейцарскому концерну Бюлер. После ребрендинга, проведенного в 2015 году, подразделение Leybold Optics стало официально именоваться Бюлер Alzenau GmbH и вошло в подразделение «Прогрессивные материалы» в составе концерна Бюлер.