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SYRUSpro 系列精密光学真空镀膜机

SYRUSpro 系列精密光学真空镀膜机 ——光学滤光片全天候批量生产的标杆

- 适用于所有装载容量要求的腔室
- 满足个性化需求的关键部件
- 可适应 DUV 和 IR 应用

SYRUSpro 系列

布勒莱宝光学的 SYRUSpro 系列是用于精密光学的光学镀膜的高精度和高良率批量生产的行业领先平台。SYRUSpro 镀膜机是用于从深紫外 (DUV) 到可见光谱 (VIS) 再到红外 (IR) 光谱范围应用的理想选择。镀膜的种类涵盖用于激光以及其他的边缘滤光片(短通和长通)、UV-IR 截止滤光片、陷波滤光片和窄带通滤光片、二色性彩色滤光片和偏振分光器、AR 和 HR 镀膜。每台 SYRUSpro 可根据客户的要求配备大量布勒莱宝光学特有的标准化部件。这可进行轻松升级以满足不断增长的处理要求。另外,布勒莱宝光学的前沿工艺控制系统结合了高编程灵活性和最高的自动化程度。所有这些属性相结合可提供光学滤光片的极精准、高良率和高产量的不间断全天候批量生产。 不同的腔室尺寸,灵活性最高
SYRUSpro 镀膜机可提供八种不同的腔室尺寸,内径在 710 mm 到 2810 mm 之间。这意味着我们可提供相应的腔室以完美地匹配我们客户定义的装载容量和基底尺寸。例如,我们的 1950-mm 或 2810-mm 腔室是用于极端基底尺寸的理想平台。

范围广泛的部件,可适用于种类繁多的工序

  • 布勒莱宝光学专门设计和制造的关键部件的广泛使用为我们的客户提供多种高度可靠的工序奠定了基础并为其成功起到了重要作用。
  • 布勒莱宝光学部件组合的广泛多样性意味着 SYRUSpro 镀膜机在量身打造满足客户要求的系统方面具有极高的灵活性。该系列采用 LEYBOLD OPTICS OMS 5100 原位光学监控系统和等离子体源 LEYBOLD OPTICS LION 300 和 LEYBOLD OPTICS APSpro 等系统。品种齐全的电子束蒸发器、热蒸发器、石英测量系统和行星旋转系统进一步提高了 SYRUSpro 系列的适应性。

系统可针对 DUV 应用进行优化
布勒莱宝光学已开发出针对 193 nm 波长光刻应用优化的系统解决方案。这些解决方案包括经过特殊处理的腔室表面、精选的材料和个性化的部件配置以确保极低的镀膜损耗。这些措施在生成 DUV 应用中所需的具有高反射率的无偏移稳定镜面镀膜的氧化物镀膜应用中也至关重要。

用于 IR 应用的系统的可用性
为满足 IR 应用的特殊要求,设备的设计可进行完美地调适并使其部件进行匹配从而应对大量的 IR 镀膜材料。可在整个表面和曲面上以极佳的层性能对需要良好均匀性的平坦和曲率极高的基底进行镀膜。

关于布勒莱宝光学

在 2012 年初,Leybold Optics GmbH 成为总部位于瑞士的布勒集团的子公司:莱宝光学业务部,于 2015 年依法更名为 Bühler Alzenau GmbH,在布勒集团内的先进材料事业部下运营。