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NESSY 系列精密光学真空镀膜机

NESSY 系列精密光学真空镀膜机 ——用于 EUV 应用的溅射设备

- 极大的应用潜力
- 无可匹敌的厚度均匀性
- 完美的化学计量薄膜质量

NESSY 系列

NESSY 系列是布勒莱宝光学最新一代的磁控溅射系统。它专门用于超高真空 (UHV) 条件下极紫外 (EUV) 镜面的生产且设计用于批量生产和新产品的开发。NESSY 镀膜机可配备最多六个不同的矩形溅射阴极且可使用钼和硅以及实现完整镜面镀膜所必须的其他材料。因此,可在单个循环中实现完整的镀膜堆叠。 采用适合未来的镀膜机的突破性应用
  • 在 13.5 nm 波长具有最大反射率的钼硅多层镜面成为反射技术中的经典。这些镜面成为下一代光刻设备中必不可少的聚光镜或投影仪镜面。
  • 除 EUV 光刻外,多层干涉镜面还可用于 X 射线测量设备、同步辐射光学和其他先进科学应用。种类繁多的复杂基底使得 NESSY 成为开发创新应用和部件的完美选择。

旨在实现无可匹敌的厚度精度和均匀性

  • 虽然溅射源和沉积工艺可提供极佳的稳定性,但是精细的基底移动管理同样至关重要。基底夹持器在设计上拥有双行星旋转系统。高速直接的基底旋转与采用可编程速度配置文件的围绕腔室的低速旋转相结合。这可完美地适应镜面的各种基底几何结构。
  • 对于 7 nm 的周期层厚度,NESSY 镀膜机工具可实现下一代光刻的 EUV 光学中所必须的无可匹敌的亚原子均匀度值。
  • 可调整的溅射距离可为不同的基底厚度实现所需的灵活性。

超高真空压力可提供卓越的薄膜质量
NESSY 设备高度精巧的设计和制造可实现超高真空压力,因此还可实现完美的化学计量薄膜质量。

关于布勒莱宝光学

在 2012 年初,Leybold Optics GmbH 成为总部位于瑞士的布勒集团的子公司:莱宝光学业务部,于 2015 年依法更名为 Bühler Alzenau GmbH,在布勒集团内的先进材料事业部下运营。

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