close
Vakuum-Beschichtungsmaschine SYRUSpro

Vakuum-Beschichtungsmaschine SYRUSpro – Die Referenz für die ununterbrochene Massenproduktion optischer Filter

- Kammern für alle Ladekapazitätsanforderungen
- Schlüsselkomponenten zur Erfüllung spezifischer Anforderungen
- Anpassbar an DUV- und IR-Anwendungen

SYRUSpro serie

Die SYRUSpro Baureihe von Bühler Leybold Optics ist ein in der Industrie führendes System für die Massenproduktion optischer Beschichtungen für die Präzisionsoptik. Sie zeichnet sich vor allem durch eine hervorragende Genauigkeit und einen hohen Produktionsausstoß aus. Die Beschichtungsmaschinen der Baureihe SYRUSpro sind ideal geeignet für Anwendungen vom tiefen Ultraviolett-Spektrum (DUV) über das sichtbare Spektrum (VIS) bis hin zum Infrarot-Spektralbereich (IR). Die Vielzahl der Beschichtungen umfasst Kantenfilter (Kurz-/Langpass), UV/IR-Sperrfilter, Kerbfilter und Schmalbandpassfilter, dichroitische Farbfilter und Polarisationsstrahlteiler, AR- und HR-Beschichtungen für Laser und vieles mehr. Jede SYRUSpro wird nach den Kundenvorgaben mit einer Vielzahl von Standard-Komponenten ausgerüstet, die von Bühler Leybold Optics konstruiert wurden. Dies ermöglicht einfache Upgrades zur Erfüllung steigender Prozessanforderungen. Darüber hinaus vereint die erstklassige Prozess-Steuerung von Bühler Leybold Optics eine hohe Flexibilität bei der Programmierung mit einem Höchstmass an Automatisierung. Alle diese Merkmale tragen dazu bei, dass in der ununterbrochenen Massenproduktion von optischen Filtern sehr präzise Werte sowie ertragreiche und hohe Durchsatzzahlen erreicht werden. Unterschiedliche Kammergrössen für ein Höchstmass an Flexibilität
  • Die Beschichtungsmaschinen der Baureihe SYRUSpro sind mit acht verschiedenen Kammergrössen mit Innendurchmessern zwischen 710 mm und 2810 mm lieferbar. Dies bedeutet, dass wir die geeignete Kammergrösse liefern können, die die vom Kunden festgelegten Ladekapazitäten und Substratgrössen ermöglicht. Die Kammern mit 1950 mm oder 2810 mm sind beispielsweise optimal für extreme Substratgrössen geeignet.

Breites Komponentenangebot für verschiedene Prozesse

  • Die umfassende Nutzung der von Bühler Leybold Optics entwickelten und hergestellten Schlüsselkomponenten ist die Grundlage für die grosse Vielzahl an hochzuverlässigen Prozessen, die unseren Kunden zur Verfügung stehen und spielt bei deren Erfolg eine wichtige Rolle.
  • Die grosse Vielfalt innerhalb des Komponentenportfolios von Bühler Leybold Optics führt dazu, dass die Beschichtungsmaschinen der Baureihe SYRUSpro sehr flexibel sind, wenn es darum geht, Systeme an die spezifischen Kundenanforderungen anzupassen. Das Angebot umfasst Systeme wie beispielsweise das optische vor-Ort-Überwachungssystem LEYBOLD OPTICS OMS 5100 und die Plasmaquellen LEYBOLD OPTICS LION 300 und LEYBOLD OPTICS APSpro. Auch die grosse Auswahl an Elektronenstrahlverdampfern, thermischen Verdampfern, Quarzkristall-Messsystemen und Planetenrad-Drehsystemen vervielfachen die Anpassungsfähigkeit der SYRUSpro Baureihe.

Das System kann für Anwendungen im tiefen Ultraviolettspektrum (DUV) optimiert werden

  • Bühler Leybold Optics hat optimierte Systemlösungen für Photolithographie-Anwendungen mit der Wellenlänge 193 nm entwickelt. Diese Lösungen umfassen besonders behandelte Kammeroberflächen, ausgewählte Materialien und individualisierte Komponentenkonfigurationen, um bei den Beschichtungen extrem niedrige Verluste zu gewährleisten. Diese Merkmale sind auch bei der Anwendung von Oxidbeschichtungen sehr wichtig, um versetzungsfreie und stabile Spiegelbeschichtungen mit den hohen Reflexionswerten zu erzielen, die bei DUV-Anwendungen gefordert werden.

Verfügbare Systeme für Infrarot-Anwendungen (IR)

  • Um die besonderen Anforderungen der IR-Anwendungen zu erfüllen, können die Maschinenkonstruktion und ihre Komponenten perfekt an die Verarbeitung der grossen Mengen des IR-Beschichtungsmaterials angepasst werden. Flache und stark gekrümmte Substrate, bei denen eine gute Gleichmäßigkeit erforderlich ist, können mit einer ausgezeichneten Schichtqualität über die gesamte Fläche und Krümmung beschichtet werden.